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苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司
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半导体洁净室环境对制程的影响

发布日期:2018-05-31 作者:自媒体运营 点击:

背景

洁净室(cleanroom):空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入,产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

洁净室的灰尘来源

洁净室的灰尘来源主要是人员因素造成、生产过程产生、设备运转产生、原料中带入、空气中漏入等形式。

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纤维过多造成产品外观异常

FIBER纤维数量过多,导致产品外观异常,静坐时产生的尘粒数约10000,轻微运动产生的尘粒数约100000,剧烈运动产生的尘粒数约10000000。无尘室里行走,除了动作不能太大,走路速度也要适当控制哦。

洁净室的四个原则

不将灰尘带入

过滤器本身及外框无漏风;洁净室需保持一定的正压;作业人员需穿洁净服并经风淋室;带入的工具材料必须擦洗干净。


相关标签:洁净室,灰尘来源,FIBER纤维数量,过滤器,洁净服

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